Sputtern, Ionenzerstäubung, Abdampfen von Atomen und Atomclustern von der Oberfläche eines Stoffes unter Bestrahlung mit beschleunigten Ionen. Technische Anwendungen sind das Ätzen (Sputterätzen, ...

Ionenätzen, das Abtragen von Oberflächenatomen und Verunreinigungen an der Oberfläche eines Festkörpers durch Kontakt mit Ionen. Das Ionenätzen kann durch Eintauchen der Probe in ein Plasma erfolgen, ...